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P產品分類RODUCT CATEGORY
更新時間：2022-04-13 
瀏覽次數：1842選擇HMDS烘箱的容積
內腔尺寸：450*450*450mm，1-8寸片均適用，4寸晶圓可處理200P/次；
HMDS烘箱真空泵的選擇
根據腔體容積，選配合適型號的真空泵。常用渦旋式真空泵又分為油泵和干泵。
◆ 低噪聲，低振動
3.HMDS烘箱輔助功能選擇：
◆HMDS藥液泄漏報警提示功能
◆HMDS低液位報警提示功能
◆工藝數據記錄功能
◆藥液管道預熱功能
◆程序鎖定保護等功能
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